back

Vorrichtung und Verfahren zur Prozessüberwachung mehrerer Teiglinge in einer Prozesskammer

Authors

Rohde, A.-K.
Lütjen, M.
van Bargen, M.
Stukenborg, F.
Fitzel, T.

Meta information [BibTeX]

Year: 2018
Type: Patent
Application number: DE102018124378A1
Application date: 2018-10-02
Publication date: 2020-04-02
URL: https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibdat&docid=DE102018124378A1

Rohde, A.-K.; Lütjen, M.; van Bargen, M.; Stukenborg, F.; Fitzel, T.
Vorrichtung und Verfahren zur Prozessüberwachung mehrerer Teiglinge in einer Prozesskammer
DE102018124378A1. registered 2018-10-02, published 2020-04-02,
(Workgroup: BIBA)

@misc{Roh18a,
author = {Rohde, A.-K. and L{\"u}tjen, M. and van Bargen, M. and Stukenborg, F. and Fitzel, T.},
title = {Vorrichtung und Verfahren zur Prozess{\"u}berwachung mehrerer Teiglinge in einer Prozesskammer},
year = {2018},
note = {Patents/Norms}
}

Download as .bib